製品・サービス

搬送露光用UV照射装置

特型仕様

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    洗浄・改質

被照射物を搬送しながら露光するUV照射装置です。
クリーンルームでご使用できます。

特長

  • 用途に合わせたUVランプを用意

    被照射物に合わせてUVランプを選択可能です。(水銀ランプ、メタルハライドランプ)

    仕様検討時には必要な波長(nm)・UV照度分布(%)・UV照度(mW/cm2)・積算光量(mJ/cm2)などを十分に打ち合わせる必要があります。

  • 特殊フィルターで露光波長を制御

    露光したくない波長域をカットしてプロセスを実現します。

  • UV照度を監視・制御

    照射条件を維持して安定したプロセスを実現します。

  • シャッター搭載

    待機時にシャッターを閉じて搬送装置などの周辺機器への熱負荷を軽減します。

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