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静止露光用UV照射装置

特型仕様

  • 露光 アイコン

    露光

被照射物を静止した状態で露光するUV照射装置です。
クリーンルームでご使用できます。

特長

  • 用途に合わせたUVランプを用意

    被照射物に合わせてUVランプを選択可能です。(メタルハライドランプ)

    仕様検討時には必要な波長(nm)・UV照度分布(%)・UV照度(mW/cm2)・積算光量(mJ/cm2)などを十分に打ち合わせる必要があります。

  • 水冷+VRカットフィルターで低温照射が可能

    2重管の水冷ジャケットは、紫外線透過率の高い特殊ガラスを使用しています。
    その水冷ジャケットの中に、VR(可視光)をカットする特殊フィルターを取り付けることにより、UVランプから発生する熱放射を抑えることが可能です。
    空冷式に比べ排気量が少ないためクリーンルーム環境に向いています。

  • シャッター搭載

    UV照射器具には、シャッターを搭載しています。
    シャッター閉時は、ランプ出力を減光することで省電力を実現します。
    シャッター開閉時の露光量ムラを無くすため、一方向回転式シャッターにしています。

  • 照射方向が選択可能

    上向き、下向き、横向き仕様から選択可能です。

水冷ジャケットユニット(VRカットフィルター付) イメージ

水冷ジャケットユニット(VRカットフィルター付)

VRカットフィルター透過率の一例 グラフ

VRカットフィルター透過率の一例

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